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« Tic-tac, tic-tac » fait le silicium

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Une montre en silicium, ça n'existe pas. « Et pourquoi pas ? », pourrait répondre Patrice Minotti, président de la jeune société Silmach. Créée en décembre 2003 à l'initiative de quatre chercheurs du laboratoire Femto-ST, de Besançon, Silmach a reçu en novembre 2004 le Micron d'or du Salon international des microtechniques Micronora.

Libellule artificielle en silicium développée par Silmach. Ses battements d'ailes reproduisent fidèlement ceux du modèle biologique. © SilMach

Il récompensait la réalisation d'un mouvement d'horlogerie en silicium obtenu grâce à une technologie de microfabrication collective dérivée de la microélectronique. « Le marché de la montre à quartz représente un milliard d'unités par an, et notre mouvement de montre en silicium démontre le potentiel des microtechnologies MEMS développées par Silmach sur des marchés de volume », souligne Patrice Minotti. Le cœur de l'activité de Silmach (Silicon Machinery) est en effet la conception et le développement de systèmes micromécaniques MEMS intégrés sur silicium. Une de ses innovations est de permettre l'ajout de fonctions mécaniques complexes sur les circuits intégrés.

Autre réalisation, en partenariat avec la Délégation générale pour l'armement (DGA) : une libellule artificielle, microdrone de 120 mg exposé au siège du CNRS lors de l'exposition « Zoom sur les micro- et nanosystèmes » et au dernier Salon du Bourget sur le stand DGA. Le système de propulsion à ailes battantes développé par Silmach a une masse de 20 mg. Les 100 mg restants sont dédiés aux microbatteries MEMS en développement au CEA. Ce système micromécanique distribué intègre 180 000 nanomuscles artificiels de 9 ng à la surface des ailes et développe une puissance mécanique utile de 80 mW pour seulement 2 mg de microactionneurs embarqués. En comparaison, le plus petit moteur électromagnétique commercialisé pèse 91 mg, nécessite une transmission de puissance auxiliaire, et développe 0,5 W/g.

Les clients de Silmach ? L'aéronautique, la défense, l'automobile et l'horlogerie... « Nous avons des clients prestigieux, surtout à l'étranger, et nous travaillons en partenariat avec un groupe industriel suisse dans le domaine de l'horlogerie », souffle Patrice Minotti. Lequel ? Motus. « Mais la demande d'anonymat démontre bien les enjeux industriels induits par l'émergence prochaine de nos technologies », ajoute-t-il.

Les projets ? « Nous travaillons sur une technologie de rupture ; nous devons donc laisser le temps au temps, sachant qu'une société d'ingénierie telle que la nôtre ne saurait à elle seule imposer de nouveaux marchés. Pour l'instant, la vente de services R&D "amont" représente notre principal moteur d'activité. Mais d'ici à trois ans, nous pensons en faire le moteur auxiliaire de notre activité tandis que la vente de nos licences devrait prendre le pas. » Avec cinq demandes de brevets en cours, dont deux en copropriété avec la DGA, et son premier million d'euros de commandes fermes de services R&D atteint, Silmach envisage l'avenir sereinement.

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