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Technique de gravuregravure utilisant un faisceau d'électronsélectrons pour créer un motif en creux sur une surface. Elle est notamment utilisée pour la réalisation de circuits électronique à semi-conducteurssemi-conducteurs et dans le domaine des nanotechnologiesnanotechnologies.
Par rapport à la photolithographiephotolithographie, qui utilise la lumièrelumière et qui est également utilisée pour la fabrication de semi-conducteurs, elle permet une gravure plus fine, de l'ordre du nanomètrenanomètre. La différence tient à la différence de longueurs d'ondeslongueurs d'ondes. Celle de la lumière utilisée en photolithographie (dans la gamme de l'ultravioletultraviolet) induit des phénomènes de diffractiondiffraction qui limite la finesse de la gravure.
