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Lithographie électronique à balayage

DéfinitionClassé sous :technologie , physique , électronique

Technique de gravure utilisant un faisceau d'électrons pour créer un motif en creux sur une surface. Elle est notamment utilisée pour la réalisation de circuits électronique à semi-conducteurs et dans le domaine des nanotechnologies.

Par rapport à la photolithographie, qui utilise la lumière et qui est également utilisée pour la fabrication de semi-conducteurs, elle permet une gravure plus fine, de l'ordre du nanomètre. La différence tient à la différence de longueurs d'ondes. Celle de la lumière utilisée en photolithographie (dans la gamme de l'ultraviolet) induit des phénomènes de diffraction qui limite la finesse de la gravure.