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KLA-Tencor unveils next-generation e-beam inspection system to accelerate transistor innovation at 6

Le 03 Février 2006 à 06 h 56 - Digitimes

KLA-Tencor on February 2 (in the US) introduced the eS32 – an extension of its e-beam inspection platform that the company is hoping will help accelerate transistor innovation at the 65- and 45nm nodes. The announcement indicated that volume shipments of the eS32 are underway.

Et aussi, chez Digitimes...

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